離子源型號

 離子源 KDC 10 

 離子源 KDC 40 

 離子源 KDC 75 

 離子源 KDC 100 

 離子源 KDC 160 

Discharge

DC 熱離子

DC 熱離子

DC 熱離子

DC 熱離子

DC 熱離子

離子束流

>10 mA

>100 mA

>250 mA

>400 mA

>650 mA

離子動能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

柵極直徑

1 cm Φ

4 cm Φ

7.5 cm Φ

12 cm Φ

16 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

1-5 sccm

2-10 sccm

2-15 sccm

2-20 sccm

2-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

長度

11.5 cm

17.1 cm

20.1 cm

23.5 cm

25.2 cm

直徑

4 cm

9 cm

14 cm

19.4 cm

23.2 cm

中和器

燈絲

美國 KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列 應用領域：

KRI 考夫曼離子源 KDC 應用：

1.輔助鍍膜(光學鍍膜) IBAD

2.濺鍍&蒸鍍 PC

3.表面改性, 激活 SM

4.沉積 DD

5.離子濺射沉積和多層結構 IBSD

6.離子蝕刻 IBE