一、引言（學習藍寶石襯底的用意及用處）

近二十年來，氮化鎵基發光二極管取得了飛躍式發展，并實現了大規模的產業化生產。氮化鎵基發光二極管由于其高效、節能、環保等優越性能，將取代現有的白熾燈、熒光燈、鹵化燈等而成為主流的固態照明工具。

然而，同質外延生長所需的高質量GaN襯底的價格昂貴且遠不能滿足大規模生產的需求。現有的外延襯底大部分仍是藍寶石，由于藍寶石與GaN材料存在晶各失配和熱失陪等缺點，這阻礙了GaN晶體質量的提高，從而導致了GaN的發光器件性能的進一步提高。大量研究表明，圖形化藍寶石襯底有利于降低晶體的位錯密度和應力釋放，從而大大改善GaN晶體的質量和GaN的發光器件性能。

         二、藍寶石襯底的常規清洗方法

在正常的室溫下，有機溶劑超聲清洗，以及加熱條件下，丙酮浸泡。

實施本發明的藍寶石襯底清洗方法，取消了傳統清洗方法中使用的三氯乙烯試劑，減少了環境污染，避免人員中毒，在清洗過程中，使用超聲波和加熱清洗，可節省清洗時間，提高清洗效率和質量。工藝簡單、操作方便，滿足環保要求。

然而，使用超聲波清洗機清洗藍寶石襯底，是利用了超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和污物直接、間接的作用，使污物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的。

        三、藍寶石襯底清洗用超聲波設備類型中的光學超聲波清洗機

深圳威固特VGT-1403FH為光學超聲波清洗機，設備共有14個功能槽，配置有循環過濾系統、有機溶劑蒸餾回收系統、自動恒溫系統、拋動系統、超聲波清洗系統、抽風裝置、環保液前處理系統、慢拉脫水、熱風烘干等。設備采用環保型有機溶劑洗滌、水溶劑洗滌、純水漂洗、離心烘干為環保型清洗機。是藍寶石襯底在清洗設備上值得首要考慮的。

        四、深圳威固特VGT-1403FH光學超聲波清洗機的小部分結構配置是這此需了解的

熱風烘干槽：

結構：每個烘干槽配置一套氣缸

加熱系統結構：

1、外置式不銹鋼加熱箱；

2、內設不銹鋼加熱管，功率12KW，配OMRON數顯式溫控系統，監控箱內熱風溫度，溫控范圍：～120℃。

FFU壓風系統：

結構：在烘干槽正上方的機架頂部設置一個FFU層流送風單元。由上往下吹風形成負壓風，致使工件加熱后附著物不易粘附。

功能：因慢拉槽液溫較高，如無頂部的FFU壓風，大量的水汽將往上騰，水氣會再次附著于提出的藍寶石襯底上；安裝FFU后，可在上方形成局部正壓，大部分水氣從缸面的抽氣口抽走。

其實，也有很多對干凈后的藍寶石襯底樣品選擇進行旋轉吹干處理。深圳威固特的甩干機的基本工藝操作流程簡單概述下：

開機—參數設置—裝入樣品—啟動，執行工藝流程—啟動，執行工藝流程—過程結束，取出樣品。