型號：VGT-1018S

產品特點：

1，腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性；

2，工藝參數（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調）手動由觸摸屏界面可

設定；

3，機臺前方為清洗工作區域，機臺后上方為電器和氣路布置區域，后下方為液

路布置區域。

4，藥液供給及補液方式: 分體式CDS自動供液系統

5，DI槽配有在線式水質檢測裝置；

6，配有分體式廢液回收系統；

7，配備自動滅火系統；

8，環保型自動、智能清洗系統

應用范圍：

用于鍺片鍍膜前處理的清洗，也可以用于其他晶片的清洗腐蝕；

工藝說明：手動方式實現放件，取件，槽體間傳送件；

設備形式：室內放置型；

設備結構：一體式、中央集成型

技術參數:

超聲波功率：900w

超聲波頻率：28khz/48khz

換能器數量：18個

電源電壓:三相五線380V