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廣西東青華實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司

實(shí)驗(yàn)臺(tái)、通風(fēng)柜、通風(fēng)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)高柜、實(shí)驗(yàn)家具等

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實(shí)驗(yàn)室氣路改造施工高壓氣體管路安裝施工

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產(chǎn)品品牌寶世光

最小起訂≥10 米

供貨總量999999 米

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更新日期2021-09-18 09:38

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基本參數(shù)

品牌:

寶世光

所在地:

廣西 南寧市

起訂:

≥10 米

供貨總量:

999999 米

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g純供氣系統(tǒng)功能: 可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)真空輔助放空;多重防護(hù)措施,泄漏偵測(cè)。 g純供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì) 1.材料的選擇 特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。 2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路短,拐彎少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定,基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險(xiǎn)性,許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里,對(duì)于穿墻或穿過夾道的地方,周圍有危險(xiǎn)源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方,露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。 對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇du、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。管道還要有良好的接地。 3、輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^程中由于搬運(yùn)和震動(dòng),閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢,氣體的置換也需要用到高壓dan氣或hai氣,所以特氣柜需設(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體hai氣或dan氣。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)惰性氣體柜。  供氣系統(tǒng)施工  純氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接,同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超g純施工和QA/QC保證程序,對(duì)施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測(cè)、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測(cè)試。 1.施工管理和現(xiàn)場(chǎng)施工的幾個(gè)注意點(diǎn) 項(xiàng)目管理人員和施工人員都要進(jìn)行施工安quan和施工質(zhì)量的培訓(xùn),了解特種管道的施工作業(yè)要求和規(guī)范,了解高純氣體的基本知識(shí),從而加深對(duì)特種管道施工質(zhì)量重要性的認(rèn)識(shí)。 特氣管道一般采用小管道輸送,為了降低成本,管道采用直接用彎管器煨彎的方式,彎管器一般采用5-10倍的,但不小于5倍。因此對(duì)管道施工人員要進(jìn)行各種角度下的彎管培訓(xùn),對(duì)焊工也必須進(jìn)行焊接程序的培訓(xùn),熟悉各種焊接參數(shù)的調(diào)整,管工和焊工都必須經(jīng)過考試,由專門的質(zhì)量管理人員確認(rèn)合格后,發(fā)給作業(yè)許可證后方可施工,這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓(xùn)的重點(diǎn)。 現(xiàn)場(chǎng)的質(zhì)量管理人員要做好材料的質(zhì)量檢查記錄和每天的施工質(zhì)量檢查記錄,包括管工彎管的質(zhì)量,尺寸是否準(zhǔn)確,管道是否有劃傷,彎頭是不是壓得太扁;拆除包裝的管道,預(yù)制好的管道,管口是不是封好;(管道封口應(yīng)套上管帽,再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好;如果沒有管帽,則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好,然后外面再套一層,也用膠帶封好。)焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求,每個(gè)焊縫都必須仔細(xì)檢查,并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。 焊工每天在焊接前必須先作焊接試樣,經(jīng)檢查合格后方可進(jìn)行焊接施工,每天的施工結(jié)束后還必須做一個(gè)末試樣,以確認(rèn)今天的焊接作業(yè)是否存在焊接隱患。每次電源變更的時(shí)候,都必須重新作試樣。焊接試樣要附上焊接參數(shù)。每天的焊接試樣要妥善保存。(焊縫質(zhì)量的檢查主要有焊縫的寬笮度、焊縫的內(nèi)外均勻度、焊縫的凹凸度、是否氧化、其他不允許的缺陷) 架設(shè)到管架上的管道,在焊接作業(yè)開始后就要采取不間斷充氣的方式,即從施工開始到施工結(jié)束管道內(nèi)都要處于沖氣保護(hù)的狀態(tài),但在不進(jìn)行焊接作業(yè)時(shí)可適當(dāng)調(diào)小管內(nèi)氣壓。但對(duì)要求不是很高的施工,為了降低成本,每天的焊接結(jié)束后,把兩端用管帽和潔凈膠帶封死。在這里要特別提出的是對(duì)輸送強(qiáng)腐蝕性氣體的耐腐蝕性強(qiáng)的VM管進(jìn)行對(duì)接施焊時(shí),其充氣時(shí)間必須要達(dá)到4-5分鐘,而且必須不間斷充氣。 2.系統(tǒng)檢測(cè) 特氣管道施工結(jié)束后都需要進(jìn)行壓力檢測(cè),氦檢漏,顆粒度和水分、氧分測(cè)試。壓力檢測(cè)一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測(cè)儀或電子檢測(cè)儀,不用壓力表。這樣大大提高了檢測(cè)的精密度。水、氧測(cè)試采用水氧分析儀;顆粒度測(cè)試目前基本采用激光顆粒測(cè)試儀,精度達(dá)到0.1微米;而對(duì)要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)(CNC)它可達(dá)到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測(cè)試根據(jù)具體要求確定

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