超純水機是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，超純水機將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水機又稱做:超純水器，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。優質超純水出水能達到18.25兆歐。
超純水機是自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，其水質可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產水的廢水(亦稱"濃水")排掉。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，最后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。
超純水機的技術要求
1. 兩級反滲透深度除鹽，原水水質<2000μs，硬度<450ppm;
2. 反滲透純水水質在到GB6682-2008三級水標準，超純水優于GB6682-2008一級水標準
3. 系統除鹽率≥99.5%，源水與廢水比例1:3。.
4. 具有運行異常自我診斷(原水、預純化水、超純水的水質水量)，警示或系統自動停止運行。
5.智能故障判斷(系統重要零組件:電磁閥、增壓泵、UV燈、傳感器等線上更換指示)。
超純水機系統特點
1、選用靜音泵，系統運行時無震動、無噪音、無電磁輻射，對工作環境無影響。
2、選用反滲透膜，性能穩定、脫鹽率高、壽命長。
3、選用交換樹脂制作(超)純化柱，交換容量大，出水水質高。
4、選用全金屬機箱，靜電噴漆，可有效防止水汽銹蝕。
5、水路電路隔離，避免了潮濕環境對電路的影響。
超純水機的應用領域
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
3、單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝用純水。4、純凈水設備，反滲透設備，鍋爐軟化水設備、工業軟化水設備、食品行業軟化水設備、家用軟水機。