北京凱瑞永半導(dǎo)體專用顯微鏡
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。AxioImagerVario支持的較大樣品高度為254mm，較大橫向樣品空間為300mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設(shè)計確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。
潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內(nèi)進行。根據(jù)DINENISO14644-1標準，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級。AxioImagerVario已通過此標準認證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。ISO5級潔凈室相當于原先標準FEDSTD209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。
半導(dǎo)體專用顯微鏡優(yōu)勢
具有兩種手動機柱和一種電動機柱（配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的較大橫向樣品空間300mmx300mm和較大樣品高度254mm的優(yōu)勢。
AxioImagerVario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。
借助硬件自動對焦功能，可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
將AxioImagerVario與LSM900結(jié)合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品
AxioImagerVario已通過DINENISO14644-1認證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。
半導(dǎo)體專用顯微鏡
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