整個水處理系統(tǒng)分為預(yù)處理系統(tǒng)+反滲透為主的脫鹽系統(tǒng)+精處理系統(tǒng)+(加溫后)+后續(xù)的精處理工藝，最后得到電子超純水。整個水處理系統(tǒng)有加熱功能，根據(jù)不同的用水溫度需要調(diào)整進水溫度。預(yù)處理系統(tǒng)由絮凝劑和殺菌劑+全自動多介質(zhì)過濾器+全自動活性炭過濾器+預(yù)處理產(chǎn)水箱+預(yù)處理輸送泵組成。主要通過添加藥劑和機械過濾器來去除掉水中泥沙、懸浮物、膠體、微生物等物質(zhì)，保證產(chǎn)水的SDI15<
 
5，滿足反滲透的進水條件。反滲透為主的脫鹽體系主要由一級反滲透系統(tǒng)和二級反滲透系統(tǒng)組成，特別是一級反滲透系統(tǒng)，為最主要的脫鹽系統(tǒng)。由熱交換器+保安過濾器+一級高壓泵+一級反滲透系統(tǒng)+緩沖水罐+二級高壓泵+二級反滲透系統(tǒng)+產(chǎn)水水箱組成。由于反滲透系統(tǒng)允許進水含鹽量相對較廣，且脫鹽率高，故能起到主要脫鹽的功能，減輕后續(xù)工藝處理的脫鹽負荷。精處理系統(tǒng)主要由進水泵+一級TOCUV+膜脫氣系統(tǒng)+連續(xù)電除鹽系統(tǒng)(CEDI)組成，主要是進一步去除水中的含鹽量，為后續(xù)的精處理系統(tǒng)提供穩(wěn)定的水質(zhì)保障。后續(xù)精處理根據(jù)分布不同分兩股水，由水罐+泵+二級TOCUV+超純水拋光混床+換熱器+0.1
 μm過濾器組成，之后不同溫度的產(chǎn)水作為超純水使用。

一級反滲透系統(tǒng)單套設(shè)計為一級兩段：(14∶6)×6，單套120支膜元件，系統(tǒng)設(shè)計產(chǎn)水103mm3/h，設(shè)計回收率75%，溫度為25℃，共5套，膜元件共600支。以反滲透膜系統(tǒng)為主介紹說明該水系統(tǒng)的運行情況。