實(shí)驗(yàn)分析儀器銷售，儀器儀表銷售，等離子清洗機(jī)，小型磁控濺射儀，小型蒸鍍儀，石英管真空封口機(jī)，真空探針臺等
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產(chǎn)品價(jià)格￥39600.00元/臺
產(chǎn)品品牌鄭科探
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供貨總量99 臺
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更新日期2024-07-22 16:33
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鄭州市金水區(qū)智研實(shí)驗(yàn)室設(shè)備經(jīng)營部（個(gè)體工商戶）
聯(lián) 系 人：張正敏(女士)
聯(lián)系手機(jī)：15136405012
聯(lián)系固話：0371--60308298
聯(lián)系地址：河南省大學(xué)科技園東區(qū)6幢
品牌： |
鄭科探 |
所在地： |
河南 鄭州市 |
起訂： |
≥1 臺 |
供貨總量： |
99 臺 |
有效期至： |
長期有效 |
5段可變換功率： |
石英+不銹鋼腔體 |
KT—Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓，電流反饋，樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度可調(diào)節(jié)及電動擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。
技術(shù)參數(shù)
|
控制方式 |
7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 |
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濺射電源 |
直流濺射電源 |
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鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
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功率 |
≤1000W |
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輸出電壓電流 |
電壓≤1000V 電流≤1A |
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真空 |
機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
|
濺射真空 |
≤30Pa |
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擋板類型 |
電控 |
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真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
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樣品臺 |
可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
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樣品臺轉(zhuǎn)速 |
8轉(zhuǎn)/分鐘 |
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樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 |
40-105mm |
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真空測量 |
皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
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預(yù)留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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