高真空分子泵機組的原理

分子泵 (Molecular pump)是一種用于實現和維持高真空和超高真空環境的設備。它的工作原理基于氣體分子的動量傳遞，通過機械手段將氣體分子從真空系統中排出。

工作原理

分子泵的工作過程可以概括為以下幾個步驟

1.旋轉葉片:

分子泵內部有高速旋轉的葉片(或稱轉子)，通常以每分鐘數萬轉的速度旋轉。

葉片與定子之間形成非常小的間隙。

2.氣體分子的動量傳遞:

氣體分子在碰撞到高速旋轉的葉片時，會被賦予動量。

這種動量使得氣體分子沿葉片的旋轉方向被加速，逐步向泵的排氣口移動。3.多級結構:

分子泵通常具有多級葉片結構，通過多次碰撞和動量傳遞，使氣體分子逐級排出

每一級都進一步降低系統的壓力，達到所需的真空度。

分子泵的優勢

分子泵在高真空和超高真空應用中具有許多顯著的優勢:

1.高真空度:

分子泵能夠實現和維持非常高的真空度，通常可達到 10-9 Torr 甚至更低

適用于超高真空應用，如電子顯微鏡、表面科學研究等。

2.無油污染:

分子泵為干式泵，不使用油進行潤滑或密封，因此避免了油污染。

特別適用于需要超高潔凈度的真空環境。

3.高效:

由于其高轉速和多級結構，分子泵能夠在較短時間內達到目標真空度，適合需要快速抽真空的應用，如半導體制造和實驗室設備。4.耐用性:

分子泵結構堅固，耐用性高，能夠長時間連續運行。

維護成本較低，因為沒有油的污染和相關的維護問題。

5.競壓力范圍:

分子泵能夠在寬范圍的壓力下工作，從大氣壓一直到超高真空。

能夠與其他類型的真空泵(如粗真空泵)聯用，實現更廣泛的應用。

應用

分子泵被廣泛應用于各種需要高真空和超高真空的領域，包括但不限于

半導體制造:用于光刻、沉積和蝕刻等工藝中。

真空鍍膜:用于制造光學薄膜和裝飾涂層。

電子顯微鏡:提供必要的超高真空環境以確保高分辨率

加速器和粒子物理實驗:維持實驗室中的高真空條件。

航空航天:用于模擬空間環境和測試衛星部件。

總之，分子泵以其高效、無油污染和高真空度等優勢，成為現代真空技術中的重要設備。

高真空分子泵機組技術參數：