Summit450/625/800 參數(shù)介紹：

 XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um   (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)

 Z 線性精度: E1=(1.8+5L/1000)um   (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可選5X鏡頭)

英制單位 公制單位

測量范圍(Summit 450) 18" X18"X6" 450x450x150mm

測量范圍(Summit 625)              615x610x150mm

測量范圍(Summit 800) 30" X31"X6" 760x800x150mm

尺寸(Summit 450/625) 40" X65X76" 1016X1650x1930mm

尺寸(Summit 800) 56" X74.2X76" 1422X1884X1930mm

負載能力 50kg

分辨率 0.1um (可選 0.04umX-Y)

光學 雙重放大 (物鏡X)

低 0.8 1.0 2.5 5.0 10.0 25.0

高 3.2 4.0 10.0 20.0 40.0 100.0

標準物鏡 2.5X

可選物鏡 0.8X,1.0X,5X,10X

照明 LED 背光,LED 同軸面光

可選特征 多色可編程環(huán)形光源

Ronchi 柵格自動ju jiao

TTL激光

光譜探針

旋轉(zhuǎn)工作臺

兆像素數(shù)碼相機

高速測量和連續(xù)圖像獲取

特征：

- 測量范圍：450 x 450 x 150 mm或 615x610x150mm

- 50公斤承載力

- 亞微米的光柵尺分辨率

- 平臺移動速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒

- 可選的X-Y無阻力線性馬達驅(qū)動，平臺速度400 mm/秒

- 誤差映射：在XY平面非線性二維糾錯

- 雙重放大光學系統(tǒng)，固定鏡頭，內(nèi)部放大1-4倍

- 可編程LED平臺背光及同軸表面光照明

- 可編程多色（紅、藍、綠、復合白色）環(huán)形燈(PRL)選項

- TTL激光選項，具有自動ju jiao和掃描功能

- 三角和共焦激光位移傳感器選項

- SpectraProbeTM  高分辨率彩色傳感器選項

- 先進的圖像處理性能，快速、某精某確、穩(wěn)健

- 雙通道，數(shù)字式，1.4兆像素的單色相機; 4:1的比例

- 次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel

- 獨立的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg

- 可選配一體式可調(diào)節(jié)高度的工作站活動臂及平臺，上可放置平板顯示器、鍵盤鼠標及周邊設備

- 強大的測量軟件和數(shù)據(jù)分析工具可供選擇

- 平均無故障工作時間 MTBF ≥ 8,000 小時

Summit的應用范圍包括：

半導體/電子

PCB板與Stencil

光罩

引線框，引線接合，柔性線路板，連接器

SMT元件貼裝

錫膏/環(huán)氧數(shù)脂膠點

xin片載體和托盒

噴墨打印機墨盒

數(shù)據(jù)存儲

磁盤介質(zhì)基板

滑塊和懸臂組(HGA)

Wafer carriers and row bar pallets

精密注塑和機加工件

模具和刀具

某醫(yī)某療設備

燃料噴射部件

手表組件