1.    導向精度
導向精度是指運動構件沿導軌導面運動時其運動軌跡的準確程度。影響導向精度的主要因素有導軌承導面的幾何精度、導軌的結構類型、導軌副的接觸精度、表面粗糙度、導軌和支承件的剛度、導軌副的油膜厚度及油膜剛度，以及導軌和支承件的熱變形等。
直線導軌的幾何精度一般包括：垂直平面和水平平面內的直線度；兩條導軌面間的平行度。導軌幾何精度可以用導軌全長上的誤差或單位長度上的誤差表示。

2.    精度保持性
精度保持性是指導軌工作過程中保持原有幾何精度的能力。導軌的精度保持性主要取決于導軌的耐磨性極其尺寸穩定性。耐磨性與導軌副的材料匹配、受力、加工精度、潤滑方式和防護裝置的性能的因素有關，另外，導軌及其支承件內的殘余應力也會影響導軌的精度保持性。

3.    運動靈敏度和定位精度
運動靈敏度是指運動構件能實現的最小行程；定位精度是指運動構件能按要求停止在指定位置的能力。運動靈敏度和定位精度與導軌類型、摩擦特性、運動速度、傳動剛度、運動構件質量等因素有關。