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低溫等離子體的不足之處：1.易產(chǎn)生火花放電，在高峰值電壓下，反應(yīng)器易產(chǎn)生火花放電，火花放電不僅增大電能消耗，而且破壞放電的正常進(jìn)行，凈化效率低，還存在危險(xiǎn)性。2.當(dāng)填充材料直徑為3mm時(shí)，電場(chǎng)強(qiáng)度為4KV/cm時(shí)，由于擊穿和火花的產(chǎn)生，對(duì)苯等有機(jī)物的分解并不十分完全。3.對(duì)于低溫等離子設(shè)備對(duì)設(shè)備部件的構(gòu)型設(shè)計(jì)、制造精度、嚴(yán)密性等要求很高。比如對(duì)電場(chǎng)頻率、電壓、高頻的脈沖等參數(shù)，成套設(shè)備中如果其中的某個(gè)參數(shù)達(dá)不到要求，如電壓電低、頻率過高或過低等會(huì)對(duì)離子體的產(chǎn)生量造成很大的影響，甚至?xí)斐杀ㄊ录?

低溫等離子廢氣處理設(shè)備的特點(diǎn)：1.使用壽命：使用壽命長(zhǎng)。2.投入和維護(hù)費(fèi)用：一次性投入成本較高，后期維護(hù)成本少。3.二次污染：無二次污染。4.兼具物理效應(yīng)、化學(xué)效應(yīng)和生物效應(yīng)，處理效率高。等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，在電場(chǎng)作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當(dāng)廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時(shí)產(chǎn)生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性極強(qiáng)的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，最后生成無害產(chǎn)物。

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的著火電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到分解污染物的目的。