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FX系列PLC型號的含義
在PLC的正面，一般都有表示該PLC型號的符號，通過閱讀該符號即可以獲得該PLC的基本信息。FX系列PLC的型號命名基本格式如下：

序列號：0、0S、0N、2、2C、1S、2N、2NC。
I/O總點數：10～256。
單元類型：M—基本單元；
E—輸入輸出混合擴展單元及擴展模塊;
EX－輸入專用擴展模塊；
EY－輸出專用擴展模塊。
輸出形式：R－繼電器輸出；
T－晶體管輸出；
S－晶閘管輸出。
特殊品種區別：Ｄ－DC電源，DC輸入；
A1－AC電源，AC輸入；
Ｈ－大電流輸出擴展模塊（1A/1點）；
Ｖ—立式端子排的擴展模塊；
Ｃ—接插口輸入輸出方式；
Ｆ－輸入濾波器1ms的擴展模塊；
Ｌ－TTL輸入擴展模塊；
Ｓ－獨立端子（無公共端）擴展模塊。
若特殊品種一項無符號，說明通指AC電源、DC輸入、橫排端子排；繼電器輸出：2A/點；晶體管輸出：0.5A/點；晶閘管輸出：0.3A/點。
例如：FX2N-48MRD含義為FX2N系列，輸入輸出總點數為48點，繼電器輸出，DC電源，DC輸入的基本單元。又如FX-4EYSH的含義為FX系列，輸入點數為0點，輸出4點，晶閘管輸出，大電流輸出擴展模塊。
FX還有一些特殊的功能模塊，如模擬量輸入輸出模塊、通信接口模塊及外圍設備等，使用時可以參照FX系列PLC產品手冊。

MKS INSTRUMENTS HPQ2 

713-025164-002 B TeflonRing 

LAM RESEARCH 716-040737-428  R, CPLG, QTZ, BIAS PU, W/O FL 

APPLIED MATERIALS 4020-01060, Filter, inline Gas 3000 PSI G9/ 19-M 

MKS UHV-40-ACC-EWVN,E52951 8P53 SRPL, Ventil + Heizung + Magnetventil

LAM RESEARCH 716-040737-428  R, CPLG, QTZ, BIAS PU, W/O FL 

APPLIED MATERIALS 0040-34926

MKS 179BX23CS3BMS130, Mass-Flo 

APPLIED MATERIALS 0040-34926

Aera Massendurchflussregler  F2, 70SLM, FC-PA7820C 

LAM RESEARCH 716-040737-428  R, CPLG, QTZ, BIAS PU 

APPLIED MATERIALS 0190-00959  BRG,SIN Ball,4PTCONT 

TMD 8104 7678 , ZnO/AL2O3 

Anelva MG-2 MiniaturGauge

CELERITY UFC-8565  Massendurchflussregler 

ALFA LAVAL, AMBD2E100F + 5ENA0 

AXCELIS H1403380  tube gas feed 

AERA FC-7810CD  Massendurchflussmesser

ALFA LAVAL, AKGD2E100F + 5EHA0 

ALFA LAVAL, AKGD2E100F + 5ELA0 

ALFA LAVAL, AKGD2E100F + 5ENA0 

BTU INTERNATIonAL 5191848, FEC T9-26-12-KA1-7-3.7

BTU INTERNATIonAL 5191850, FEC BL/C/R-8-24-8/11-KA1-7

ENTEGRIS A2ST20M01,IMPACT 2 V2 Filter 

Aera Massendurchflussregler  SiH4, FC-PA7800C

Aera Massendurchflussregler  AR, 100000SCCM, TC FC-PA7820C

CELERITY IFC-125C , SC24, Massendurchflussregler 

APPLIED MATERIALS 0020-5202 

CELERITY IFC-125 C  SC24, Massendurchflussregler

ENTEGRIS 302549-001,202-71-01, 1/4'' 

RIGAKU 4259C205, Hochspannungskabel 

TEL 90136218, 1105-302153-91 , B04-0462A, HK542-73, VT-base 

APPLIED MATERIALS 0020-5202 

MKS 1579A 00432LR14VSPC 

MKS 1579A 00432LR14V

MKS 1579A 00432LR14VSPC1 









TEL 90136218, 1105-302153-91  B04-0462A, HK542-73, VT-base 

BTU INTERNATIonAL 5191849, FEC T12-26-11-KA1-7-3.3, Heizgert 

BTU INTERNATIonAL 5191849, FEC T12-26-11-KA1-7-3.3, Heater 

BTU INTERNATIonAL 5191849, FEC T12-26-11-KA1-7-3.3, Heater 

Riken Keiki RKI GD-70D Intelligent 

APPLIED MATERIALS 0020-5202 Baffle, secondary conf.

MKS 631A11MDEH, Type631 Baratron 

APPLIED MATERIALS 0020-5202 Baffle, secondary conf.

BTU INTERNATIonAL 11040951, FEC BL/C/R-11-24-18/11-A1

Inficon VAH016-A, 253-200, Manuelles Eckventil 

APPLIED MATERIALS 0015-76163, Federverbinder 

MKS 902-1112, Series902 Piezo 

CELERITY IFC-125C  SC23, Massendurchflussregler

APPLIED MATERIALS 0015-76163, spring link 

ENTEGRIS 201-41-01,1/2'' 

ENTEGRIS 302548-015,1/2'' 

APPLIED MATERIALS 0021-07949

ENTEGRIS 201-42-01,1/2'' 

Riken Keiki RKI GD-F77A 

MKS 628BX12MBE1B, Type 628 Baratron 

LAM RESEARCH 716-801667-003M 

RIGAKU 4259C303, Hochspannungskabel

APPLIED MATERIALS 0040-87102, manifold out left